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基于低气压 CVD 法的大面积真空镀膜均匀性控制机理研究
基于低气压
柔性 + 高阻隔双 buff!HoFCVD 重塑有机电子薄膜封装新范式
柔性
HoFCVD制备氧化铝薄膜:技术突破、性能优势与多元应用前景
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HoFCVD一步法:推动低温多晶硅制备技术升级,赋能高性能显示产业
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HoFCVD“一步法”在低温多晶硅制备中体现出高结晶质量、工艺温度低(<200℃)、优异电学性能等多重优势,将在下一代显示产业中扮演关键角色。
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HoFCVD在a-Si薄膜晶体管(TFT)中的应用
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采用HoFCVD制备TFT中的材料,会给设备带来更多优势。
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