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汉可团队在热丝化学气相沉积(热丝CVD,亦称催化化学气相沉积,CAT-CVD)非晶硅薄膜工艺技术与半导体真空工艺设备技术上的潜心积累多年,在非晶硅/晶体硅异质结(HAC)太阳电池量产领域厚积薄发,形成了以下基于热丝CVD技术的设备产品。
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汉可团队在热丝化学气相沉积(热丝CVD,亦称催化化学气相沉积,CAT-CVD)非晶硅薄膜工艺技术与半导体真空工艺设备技术上的潜心积累多年,在非晶硅/晶体硅异质结(HAC)太阳电池量产领域厚积薄发,形成了以下基于热丝CVD技术的设备产品。