针对异质结太阳电池量产研发，提供如下图所示热丝CVD主工艺机台、上下料自动化整体方案，并可配套24.7%效率的baseline工艺。该方案特点：镀膜顺序可任意调整；每层膜的载板完全独立，无交叉污染；可达到最优的膜层性能。

　　（图片仅供参考）

设备基本情况如下：
　　◉  设备由4台热丝CVD镀膜设备和1套自动化上下料系统构成；
　　◉  4台设备分别可以进行P、I、I、N型非晶硅/微晶硅/掺氧微晶硅膜的制备；可根据要求再额外配置其它的气路。
　　◉  每台设备有1个载板上下料的挂架、1个Load/Unload腔体、1个镀膜工艺腔构成；
　　◉  单个载板可以放置9片尺寸为156-182mm之间的硅片。
　　◉  可根据客户需要，任意调整镀膜的顺序、膜厚、层数等；
　　◉  可根据用户需求调整腔体个数等方案。
　　◉  可以编辑工艺菜单，实现由花篮上料到花篮下料的全过程自动控制；也可手动控制。
　　◉  每天（8小时）可完成400片以上的异质结用硅薄膜镀膜。
　　详细资料请联系本公司取得。欢迎各方朋友莅临指导，交流洽谈合作。
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