HAC-202型年产400MW非晶硅/晶体硅异质结太阳电池用全自动热丝CVD非晶硅薄膜生长线
● 基本功能：
每小时8000片166硅片，最大可兼容210硅片；配套其它国产先进产线设备可实现量产平均电池效率>24.5%。
运行性能稳定、维护简易、成本低：
设备免维护周期长。~30天维护保养一次。无需每天刻蚀清洗载板和腔体。
自制热丝耗材，承诺长期平价供应。
镀膜气压低、气耗低。相比PECVD粉尘大幅度减少、用气成本降低。
立式结构：可有效避免镀膜产生的粉尘颗粒污染表面，提高连续生产太阳电池填充因子和良品率。
自动化与载板协调同步设计。减少设备宕机，减少设备维护难度和备件库存；减少设备备件维修成本。
● 镀膜质量好，无等离子对界面的损伤。
全部产品
每小时4000片166硅片，最大可兼容210硅片；配套其它国产先进产线设备可实现量产平均电池效率>24.5%。
每小时8000片166硅片，最大可兼容210硅片；配套其它国产先进产线设备可实现量产平均电池效率>24.5%。
非标定制设备，主要用于在单晶硅片上采用热丝CVD方式镀制非晶硅p层、非晶硅i层、非晶硅n层；采用磁控溅射（PVD）方式镀制TCO薄膜。
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